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SiGNUM

  SiGNUM是一款高精度光栅产品,采用IN-TRAC自动调相参考零位,可读取各种20μm栅距栅尺。SiGNUM光栅使用极为方便,其优异的性能可与价

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  SiGNUM是一款高精度光栅产品,采用IN-TRAC自动调相参考零位,可读取各种20μm栅距栅尺。SiGNUM光栅使用极为方便,其优异的性能可与价格昂贵、栅距更小的光栅系统媲美。SiGNUM系统包含SiGNUMSR读数头、SiGNUMSi接口和直线或圆形增量式栅尺。直线栅尺包括RELMZeroMet栅尺和RSLM不锈钢栅尺,而圆形栅尺包括RESM不锈钢圆光栅和超高精度REXM圆光栅。
  工作原理
  与RG2和RG4读数头一样,SiGNUM读数头光学器件采用对多个光栅周期进行平均的技术,有效滤除脏污等引起的非周期性特征。名义方波光栅条纹也被滤去,以在探测器上留下一个完美的正弦波形。这里使用的是一个多条纹结构,它非常细,能够产生4个对称相位信号形式的光电流。这些结合在一起可免去DC器件,并可产生具有高光谱纯度和低偏置值的正弦和余弦输出,同时保持500kHz以上的带宽。
  SiGNUM接口内部采用动态信号调节功能生成超高保真的增量信号,其中包括自动增益控制(AGC)、自动偏置控制(AOC)和自动平衡控制(ABC)。因此,电子细分误差(SDE)仅为±30nm,相当于0.15%的栅距。在SiGNUMSi接口内,通过CORDIC算法进行细分。
  IN-TRAC参考零位嵌入增量式栅尺中,并由读数头中的分离光电检测器进行检测,产生参考零位输出,在所有的速度下双向重复精度都能够达到单位分辨率。这种独特的设计也受益于自动校准程序,该程序对参考零位进行电子定相,并优化增量信号。