带0.1μm/0.4μm分辨力/重复精度的指示精度可达(1.1+0.6L/600)μm。
　　高精度测高仪加入了广泛的测量功能。
　　为了达到一流的精度，使用高精度反射性线性编码器和高精度导轨。
　　测量可以通过图标命令来执行，同时，也支持一键操作，保证正面的垂直度为5μm，直线度为4μm。
　　使用TFT液晶显示屏，以达到完美的可视性和可操作性。气体全浮/半浮系统可以进行空气浮动高度调整。
　　配有基本的统计功能，另外，RS-232C数据输出可通过连接计算机上的SPC软件，进行外部测量数据评估(可选)。
　　数据备份/恢复，测量工件程序可通过USB存储设备来执行(FAT16/32兼容格式)。测量范围:0-977mm滑动行程:600mm分辨力(可切换):0.0001/0.001/0.01/0.1mm20oC时精度*1:(1.1+0.6L/600)μmL为最大测量长度(mm)
　　重复精度(2σ)*1:平面:0.4μm，孔:0.9μm
　　垂直度*2:5μm(补正后)
　　直线度*2:4μm(机械直线)
　　驱动方式:手动/电动(5-40mm/s,7级)
　　测力:1N
　　平衡方式:配重(自动恒压装置)
　　浮动方式:带有内置空气压缩机的全/半浮动
　　显示:5.7英寸彩色TFT液晶显示
　　显示语言:日语、英语、德语、法语、意大利语、西班牙语、荷兰语、葡萄牙语、瑞典语、捷克语、匈牙利语、斯诺文尼亚语、波兰语、繁体中文、简体中文、韩语。
　　可存储程序:可达50个测量程序
　　可存储数据:可达60,000个测量数
　　电源:AC适配器/电池(Ni-MH)
　　电池操作时间:大约5小时
　　(空气浮动和滑块占仪器工作量的25%的情况下)
　　*1使用标准5偏心测头
　　*2使用杠杆测头(MLH-521)或Mu-checker(M-511